濺射電源用于中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料，特別適合于反應磁控濺射。能增加離化率，減少電荷積累引起的異常放電，預防靶表面中毒現象。
濺射電源主要特點：
A 采用先進的電流型
開關電源技術，減小輸出儲能元件，同時提高了抑制打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統的恒流模式，更能保證鍍膜工藝的重復性。
C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
D 主要參數可大范圍調節
E 可選擇手動控制/模擬量接口控制，可選配RS485通訊接口。采用先進的PWM脈寬調制技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
